Если вы работаете в полупроводниковой отрасли, вы уже знаете, что сжатый воздух используется повсюду. Он приводит в действие пневматические инструменты, очищает пластины, управляет исполнительными механизмами и подает чистый сухой воздух на технологическое оборудование. Но задумывались ли вы, насколько качество этого воздуха влияет на вашу прибыль?
Проблема большинства промышленных компрессоров в том, что они используют масло в камере сжатия. И масло — даже в микроскопических количествах — может испортить полупроводниковое производство. Одна зараженная партия пластин может стоить дороже самого компрессора.
Именно поэтому все больше полупроводниковых заводов переходят на сухие безмасляные винтовые компрессоры. Не потому что это модно. А потому что это работает.
Давайте разберемся, что это за оборудование, почему оно важно и имеет ли смысл для вашего производства.
На самом деле все проще, чем кажется.
Сухой безмасляный винтовой компрессор делает ровно то, что обещает название — он сжимает воздух без использования масла в камере сжатия. Никакой впрыски масла. Никакого смешивания масла с воздухом. Винтовые роторы не соприкасаются друг с другом; они вращаются с минимальными зазорами, используя специальные покрытия, позволяющие им работать «насухую».
Система смазки, подшипники и редуктор полностью изолированы от воздушного тракта. На выходе из компрессора вы получаете 100% безмасляный воздух.
Никаких фильтров для улавливания масла. Никакого уноса масла. Никакого риска загрязнения.
Этим сухой безмасляный компрессор отличается от маслозаполненного, который использует масло для охлаждения, уплотнения и смазки, а затем пытается удалить его с помощью сепараторов и фильтров. Такая схема работает для многих применений. Но когда вам нужен абсолютно чистый воздух — этого недостаточно.
Полупроводниковая отрасль работает по стандарту ISO 8573-1 Класс 0 — самому строгому стандарту чистоты воздуха. Класс 0 означает, что никакое загрязнение маслом не допускается: ни в виде паров, ни в виде аэрозоля, ни в виде жидкости.
Почему такие строгие требования?
Потому что попадание масла на поверхность пластины вызывает проблемы с адгезией, дефекты рисунка и электрические отказы. Это может испортить целую партию, а при крупносерийном производстве — означает списание продукции на миллионы долларов.
Подумайте, с чем соприкасается сжатый воздух на полупроводниковом заводе:
Во всех этих случаях воздух должен быть чистым. Не «почти чистым». Чистым.
Сухие безмасляные компрессоры DREAM имеют сертификацию TÜV по стандарту ISO 8573-1 Класс 0. Камера сжатия полностью изолирована от системы смазки, содержание масла в выходящем воздухе составляет ≤ 0,01 мг/м³. Это тот уровень чистоты, который нужен производителям полупроводников — и именно поэтому такие компрессоры становятся отраслевым стандартом.

Вот о чем редко говорят применительно к безмасляным компрессорам: они могут быть очень энергоэффективными.
В сухих безмасляных компрессорах DREAM используются синхронные двигатели с постоянными магнитами класса IE5 и технология частотного регулирования (VSD). Двигатель автоматически подстраивает скорость под реальную потребность в воздухе, а не работает на полной мощности постоянно, сбрасывая излишки.
На практике такая комбинация снижает энергопотребление на 25% и более по сравнению с компрессорами с фиксированной скоростью.
Для завода, где компрессор мощностью 110 кВт работает 8 000 часов в год, эта экономия быстро окупается. Одной только экономии электроэнергии хватает, чтобы оборудование окупилось за несколько лет — даже без учета снижения затрат на обслуживание.
Полупроводниковые заводы не останавливаются на праздники. Они не останавливаются на выходные. Они работают непрерывно — и система сжатого воздуха должна работать так же.
Сухие безмасляные компрессоры DREAM спроектированы с учетом этого:
Система охлаждения тоже заслуживает внимания. Вентилятор забирает свежий воздух снаружи компрессора и выбрасывает горячий воздух вверх, предотвращая его рециркуляцию обратно на впуск. В тесном машинном зале это имеет значение.
Один из наших клиентов — производитель полупроводников, выпускающий крупногабаритные травленые монокристаллические кремниевые материалы и прецизионные кремниевые электродные компоненты. На их заводе работают несколько линий в чистых помещениях, и система сжатого воздуха обеспечивает все: от очистки кремниевых материалов до прецизионной механической обработки и пневматических приводов.
Раньше они использовали стандартный маслозаполненный компрессор с фильтрацией, но периодически сталкивались с проблемами качества, которые в итоге связали со следовым загрязнением маслом. Проблема возникала время от времени, и ее было трудно локализовать — но она стоила им денег.
Мы заменили их систему на сухой безмасляный компрессор DREAM DMWV-110G с постоянными магнитами и частотным регулированием. Установка была подобрана под их профиль нагрузки, который включает несколько режимов работы в течение дня.
Что изменилось:
Этот проект стал показательным примером применения сухих безмасляных компрессоров DREAM в полупроводниковой промышленности.
Если вы выбираете между двумя вариантами, вот простое сравнение:
| Сухой безмасляный | Маслозаполненный | |
|---|---|---|
| Чистота воздуха | ISO 8573-1 Класс 0 | Требуется фильтрация; может приблизиться к Классу 0, но требует дополнительного оборудования |
| Обслуживание | Нет расходников, связанных с маслом | Регулярная замена масла, фильтров и сепараторов |
| Энергоэффективность | IE5 + VSD в стандарте | Зависит от конфигурации |
| Лучшее применение | Полупроводники, фармацевтика, пищевая промышленность, электроника | Общепромышленное использование |
| Долгосрочные затраты | Ниже | Выше из-за обслуживания и энергопотребления |
Начальная стоимость сухого безмасляного компрессора выше. Но если вашему производству требуется действительно чистый воздух, выбор очевиден: маслозаполненные системы не могут надежно обеспечить Класс 0 без значительной дополнительной фильтрации. А эти фильтры стоят денег, потребляют энергию и все равно оставляют определенный риск.
Если же безмасляный воздух вам не нужен — маслозаполненный компрессор справится с задачей при более низких первоначальных вложениях.

Вопрос: В чем разница между сухим безмасляным и маслозаполненным винтовым компрессором?
Ответ: В сухом безмасляном компрессоре масло не используется в камере сжатия — воздух с самого начала получается 100% безмасляным. В маслозаполненном компрессоре масло применяется для охлаждения и уплотнения, а затем удаляется с помощью фильтров и сепараторов. Для применений, требующих Класса 0, сухой безмасляный компрессор — единственный надежный вариант.
Вопрос: Какие отрасли требуют воздуха класса ISO 8573-1 Класс 0?
Ответ: Производство полупроводников, сборка электроники, фармацевтическое производство, пищевая и перерабатывающая промышленность, производство медицинских изделий — по сути, любые отрасли, где загрязнение маслом может повлиять на качество конечного продукта или технологического процесса.-
Вопрос: В каком диапазоне давления работают сухие безмасляные компрессоры DREAM?
Ответ: Они доступны в диапазоне от 2 до 10 бар (от 102 до 145 psig), что покрывает большинство промышленных потребностей.-
Вопрос: Предоставляет ли DREAM сертификацию ISO 8573-1 Класс 0?
Ответ: Да. Сухие безмасляные компрессоры DREAM имеют сертификацию TÜV по стандарту ISO 8573-1 Класс 0 с содержанием масла в выходящем воздухе ≤ 0,01 мг/м³.-1
Вопрос: Оказывает ли DREAM поддержку за пределами Китая?
Ответ: Да. DREAM экспортирует оборудование в более чем 30 стран и предоставляет услуги по пусконаладке, технической поддержке и послепродажному обслуживанию через свою глобальную сеть.-1
Выбор правильного компрессора для полупроводникового производства — это, по сути, не выбор: требования здесь четкие. Вам нужен воздух, полностью свободный от масляного загрязнения, подаваемый непрерывно и эффективно.
Сухие безмасляные винтовые компрессоры DREAM отвечают этим требованиям:
Если вы оцениваете варианты для своего производства, экономика здесь простая. Да, сухие безмасляные компрессоры стоят дороже изначально. Но долгосрочная экономия на энергии, обслуживании и — что самое важное — защита качества продукции делают эти инвестиции оправданными.
Вопрос не в том, можете ли вы позволить себе сухой безмасляный компрессор. Вопрос в том, можете ли вы позволить себе работать без него.
DREAM Compressor специализируется на:
WhatsApp: +86 136 7155 1445
Email: [email protected]